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离子氮化炉的漏气检测方法有哪些

来源:http://www.hxdhcl.com/news/37.html   发布时间:2015-04-22


离子氮化炉是属于低真空的设别范畴,那么离子氮化炉在使用久后, 会出现漏气的情况,针对这个情况我们应该检查些什么呢,下面请看氮化炉厂家为大家介绍。
真空设备的检漏相对来说是比较困难的,通常采用“分段”检查的办法,即一段一段的检查。
******步:首先将炉体与供气系统分离,目的是分清漏气是由炉体造成的还是由供气系统造成的。将进气管与钟罩分离,然后将进气接头处封死(可使用我所提供的专用堵头或真空封泥)。启动真空泵抽真空,抽到较高真空度(如30Pa左右或更高)后,封闭蝶阀,停顿一段时间(15-30分钟)后,观察设备的漏气情况。
第二步:在完成******步工作后,若炉体漏气,则应逐个检查可能产生漏气的各密封部位(包括观察窗、充气装置、钟罩下部密封法兰面、底盘上的大密封圈、测压部分密封处、阴极部位密封处、蝶阀及抽气管道之间的联结法兰面等),直至炉体基本不漏气为止。
留意:在实施以下检查步骤时,要遵循“分段”检查法的原则,即一个步骤一个步骤进行,每完成一个检查步骤后,抽真空观察检查效果,假如漏气题目得以解决,则不再进行其它检查。否则,再依次做检查(检查步骤可乱序进行。)
因为氮化炉的出现漏气状况比较严重的话,就会影响工件的质量,所以我们应该严格检查,只要遵循以上的检查方法一定会达到***快的速度检查出来的。

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